爪型干式無油真空泵在泵腔內具有若干組相互嚙合的爪型轉子。轉子與轉子之間及轉子與泵腔之間并不接觸，留有微小間隙，不用任何潤滑劑，從而保證了清潔的真空環(huán)境。泵的結構采用多級轉子串連的形式，每組轉子分別位于不同泵腔內做同步反方向運動。泵腔泵爪型轉子分割為吸氣腔和排氣腔兩部分。隨著轉子連續(xù)運轉，進行循環(huán)的吸氣排氣過程，實現了連續(xù)抽氣的目的
技術規(guī)格及性能
1、臥式直連爪型干式真空泵

工作原理
下圖為羅茨轉子由0°到360”的抽氣過程。在0位置時(圖a)，進排氣道關閉，吸氣腔與排氣腔溝通，泵腔內壓力均衡相等。當兩個轉子旋轉到50°時(圖b)，形成負壓腔，進氣道打開，正壓腔壓力逐漸提高。工作過程中，此位置是轉子正好處于換向泵腔壓力平衡的瞬間，轉子從該位置再轉過一定角度，則轉子開始密封分割為吸氣腔與壓縮排氣腔兩部分，此時開始做功。次位置進氣口打開，隨著轉子的繼續(xù)旋轉負壓腔溶劑逐漸增大開始吸氣，排氣腔容積逐漸減小，由于排氣口尚未打開，因此氣體被壓縮，壓縮量隨排氣口上線位置的變化而變化。當轉子旋轉到155”時，此時負壓腔繼續(xù)進氣，排氣道打開，開始排氣。此位置時泵的吸氣做功繼續(xù)進行，排氣口開式打開，被壓縮的氣體快速排入下一級泵腔。當轉子旋轉到312”時，進排氣口關閉，次位置轉子做功以完成一個周期，此時泵腔內壓力逐漸恢復均衡狀態(tài)。(圖d)此位置又回到初始位置，隨著泵轉子的連續(xù)旋轉，吸氣和排氣過程循環(huán)進行，實現了泵的連續(xù)抽氣做功，實現了抽真空的目的。轉子每轉一周，吸氣和排氣各進行一次。